CF型フランジ用の無酸素銅ガスケットです。
全てのサイズについて、金メッキ品と銀メッキ品をご用意できます。これらの貴金属メッキは、ベーキング中の酸化膜形成を抑え、ガスケット取り外し時に剥離した酸化膜がチャンバー内に飛散するのを防ぎます。また、シール面 の密着性を向上させる効果があります。
ガスケットは一枚毎に真空パックされています。
全て、各サイズ毎5枚セットの販売となります。
適合フランジ 外径
ガスケット 外径(A)
JVIS 003に準拠した外径54mmサイズのCF型フランジ用
主として米国製品に使用されているサイズのCF型フランジ用